電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除,本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗,研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。






CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除,本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗,研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多,在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。特種氣體是電子工業(yè),特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求。

特種氣體分類:標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體,是一種高度均勻, 穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體,可分為單元標(biāo)準(zhǔn)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體,目前標(biāo)準(zhǔn)氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求,特種標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)之一,故又稱為氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用:特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導(dǎo)體的“源”,主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

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